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EDI超純水設備助力集成電路產業穩健運行

2025-12-24

　　經濟發展使集成電路設計對水質要求不斷提高，生產需用超純水保障性能。未來，集成電路制造商數量和產能的增加，將推動行業對超純水的需求，包括用量增長及因高精度制造而產生的純度、穩定性提升需求。

　　混床離子交換技術一直作為超純水制備的標準工藝，在超純水生產中應用廣泛。然而，由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學藥品(酸堿)和工業純水，并造成一定的環境問題，因此需要開發無酸堿超純水系統。

　　傳統的離子交換已經越來越無法滿足現代工業和環保的需求，于是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的再生使用的是電能，而不再需要酸堿，因而更滿足于當今環保要求。

　　EDI設備是應用在反滲透系統之后，取代傳統的混床離子交換技術生產穩定的超純水。超純水系統是將反滲透水處理設備、EDI設備和拋光混床相結合制備超純水的設備。這不僅是一種制備超純水的新技術，也是一種環保、經濟、發展潛力巨大的超純水制備工藝。

　　EDI超純水設備可連續穩定生產優質超純水，不會因樹脂再生而停止運行。設備結構設計緊湊，占地面積小，可為企業節省大量空間。與傳統方法相比，超純水設備具有許多優點，可以連續穩定地制備高質量的超純水。